在多晶硅生產(chǎn)過程中需要什么樣的廢氣處理設(shè)備

在多晶硅生產(chǎn)過程中需要什么樣的廢氣處理設(shè)備

在多晶硅生產(chǎn)過程中，還會產(chǎn)生一定量的廢氣和殘液。廢氣處理設(shè)備廠家對人體健康的危害：人需要呼吸空氣以維持生命。一個成年人每天呼吸大約2萬多次，吸入空氣達(dá)15～20立方米。因此，被污染了的空氣對人體健康有直接的影響。工業(yè)廢氣處理專門針對工業(yè)場所如工廠、車間產(chǎn)生的廢氣在對外排放前進(jìn)行預(yù)處理，以達(dá)到國家廢氣對外排放的標(biāo)準(zhǔn)的工作。有機(jī)廢氣處理原理有活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。廢氣處理塔采用五重廢氣吸附過濾凈化系統(tǒng)，工業(yè)廢氣處理設(shè)計周密、層層凈化過濾廢氣，效果較好。 目前，我國的廢氣處理設(shè)備更加先進(jìn)，原有的處理技術(shù)也得到了改進(jìn)，達(dá)到了較高的水平。 多晶硅是太陽能和微電子工業(yè)的重要原料。 隨著我國太陽能產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對多晶硅的需求日益增加。 目前多晶硅技術(shù)仍是一個空白。 排放。 主要有西蒙工藝、冶金工藝、等離子工藝、硅烷工藝、流化床工藝、熔鹽電解工藝、無氯工藝等。 西蒙方法是通過氣相沉積制備柱狀多晶硅的方法。 為了提高原料利用率，在原工藝的基礎(chǔ)上采用了閉環(huán)生產(chǎn)工藝，即改進(jìn)的西門工藝。 改進(jìn)后的西門子工藝生產(chǎn)了全球80%的多晶硅產(chǎn)能。 西門子法制備高純多晶硅在國內(nèi)外已有許多研究。 例如，張宇等人已經(jīng)使用催化化學(xué)氣相沉積方法制備了多晶硅薄膜。 M.Dahl等人對流化床中多晶硅的微觀結(jié)構(gòu)和顆粒生長了研究，多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)包括碳熱還原法、區(qū)熔法等。 碳熱還原法是用高純度碳還原二氧化硅生產(chǎn)多晶硅，區(qū)熔法是用定向凝固原理將金屬級硅提純?yōu)樘柲芗壒琛?在多晶硅的制備過程中，廢氣和殘液

在廢氣處理過程中會產(chǎn)生大量的廢氣和廢液。大多數(shù)家用植物通常先用水洗滌水解，然后用 naoh 處理，以中和廢氣和殘液。廢氣從每個精餾塔頂部排放的含氯的硅烷和氮以及含有氯硅烷、氫、氮、氯化氫等的多晶硅還原爐中凈化，含有氯硅烷、氫、氮和氯化氫的多晶硅還原爐被送到尾氣洗滌器組，用水(鹽酸溶液)洗滌。

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